工艺技术规格要求

1、灯光源种类：5kw短弧平行光或LED平行光

2、平行半角：≤1.5°

3、倾斜角：≤1.5°

4、照度：≥20mW/cm²

5、曝光能量分布均匀性：≥90%(有效曝光面积内，25点测定、均匀性=Min/Max*100%);

6、解析能力：线宽/线距=25um/25um(1mil/1mil);

7、对位精度：±10um;在生产板厚度范围内必须保证能达到±10um的精度

8、生产板厚：0.036~0.6mm

9、生产尺寸：Max 250*500mm, Min 250*250mm

10、CCD配置数量：标配4个

11、密着方式：真空密着

12、曝光灯冷却方式：空冷

13、曝光方式：双面同时曝光

14、产能：(真空时间+对位时间+曝光时间)≤20s;(3pnl/min) 曝光材料：干膜

15、曝光灯寿命：LED灯≥2万小时;5kw平行光≥1000小时，在寿命期内强度降低不可超过原来的10%

投标邮箱：info@fpcba.com